主要技术指标 (Main Technical Parameter)
常规的处理量(normal handing capacity)：0.1-50g
升华区温度(sublimation temp.)：50-800℃
沉积区温度(deposition temp.)：50-500℃
炉管尺寸(tube size)： Φ50x1200 mm高纯石英管(high purity quartz tube )
加热区分布(heating zone)：100+200+100+100+100mm
控温点数量(Temp. Point)：5点独立控温(5points temp. control independently)
控温方式(Temp. Controller)：数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表，采用模糊型PID控制( Adopted PID automatic and double control by digital industrial instrument)
开门式炉体结构上下翻盖液压手动开启(electrical split structure)
极限真空（洁净系统）(Ultimate vacuum lever)5X10-5Pa
分子泵抽气速率(Pumping speed of molecular pump)：100L/S
额定功率(power)：5KW
额定电压(Voltage)：AC 220V Single Phase，50/60 Hz
过滤方式(Filter way)：系统采用三级过滤保护装置，分别采用多级微孔金属滤网、液氮内嵌式冷凝、90度直角台阶式过滤(Three doubles filter protection device are various lever microporous metal mesh ,nitrogen condensation embedded ,90-degree angle terraced filtering。)
