主要技術指標 (Main Technical Parameter)
常規的處理量(normal handing capacity)：0.1-50g
昇華區溫度(sublimation temp.)：50-800℃
沉積區溫度(deposition temp.)：50-500℃
爐管尺寸(tube size)： Φ50x1200 mm高純石英管(high purity quartz tube )
加熱區分布(heating zone)：100+200+100+100+100mm
控溫點數量(Temp. Point)：5點獨立控溫(5points temp. control independently)
控溫方式(Temp. Controller)：數字工控儀表雙控，採用工業智能控溫儀表，採用模糊型PID控制( Adopted PID automatic and double control by digital industrial instrument)
開門式爐體結構上下翻蓋液壓手動開啟(electrical split structure)
極限真空（潔淨系統）(Ultimate vacuum lever)5X10-5Pa
分子泵抽氣速率(Pumping speed of molecular pump)：100L/S
額定功率(power)：5KW
額定電壓(Voltage)：AC 220V Single Phase，50/60 Hz
過濾方式(Filter way)：系統採用三級過濾保護裝置，分別採用多級微孔金屬濾網、液氮內嵌式冷凝、90度直角臺階式過濾(Three doubles filter protection device are various lever microporous metal mesh ,nitrogen condensation embedded ,90-degree angle terraced filtering。)
